如何使用磁控溅射给氧化铝陶瓷管溅射均匀致密薄膜？

我是做气敏传感器方向的，请问有没有使用过磁控溅射给陶瓷管传感区溅射一层致密并且均匀的薄膜。

我也是同样的问题
能不能交流一下呢