在使用椭偏仪测量膜厚时,NK值变化有点大,800nm处的峰直接消失了,结果还对吗?

在使用椭偏仪测量膜厚时,使用的Al的模型,结果拟合的虽然很好,但NK值变化有点大,800nm处的峰直接消失了

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800nm 处的峰直接消失了,这可能是由于 Al 膜的厚度或表面形貌发生了变化所致。建议重新测量样品,并检查样品的表面形貌和厚度是否与之前的测量不同
你是做啥方向的,咱们可以小合作一波