在使用椭偏仪测量膜厚时,使用的Al的模型,结果拟合的虽然很好,但NK值变化有点大,800nm处的峰直接消失了
800nm 处的峰直接消失了,这可能是由于 Al 膜的厚度或表面形貌发生了变化所致。建议重新测量样品,并检查样品的表面形貌和厚度是否与之前的测量不同你是做啥方向的,咱们可以小合作一波