MEMS振镜怎么样能非谐振驱动呢

MEMS振镜怎么样能非谐振驱动呢?需要设计一个梳齿静电驱动的MEMS振镜,但是要求不能谐振,像电磁驱动那样,静止或定点。

个正弦或余弦波在两个正交方向上运动时产生的轨迹图形。二维MEMS振镜扫描成像的原理就是利用这种李萨如图形的特性,通过不停地扫描并反射光线,从而实现图像的显示。 对于如何非谐振驱动MEMS振镜并且防止谐振的发生,可以考虑以下几点建议: 1. 使用非谐振驱动方式:可以考虑使用非谐振驱动方式,例如直流驱动或自激振荡驱动方法,来代替传统的谐振驱动方式。 2. 设计合适的结构和参数:可以通过合理的设计结构和参数来实现非谐振驱动,例如改变MEMS振镜的尺寸和形状,改变电极材料和厚度等。 3. 控制算法优化:可以采用优化控制算法来实现非谐振驱动,并且防止谐振的发生,例如采用自适应控制算法或者采用滑模控制算法等。 4. 模拟分析和实验验证:可以通过模拟分析和实验验证来调整和优化设计,从而实现非谐振驱动和防止谐振的发生。

以下是一种非谐振驱动MEMS振镜的示例代码,采用自激振荡驱动方法:

%% 参数设置
N = 400; % 模拟时间的采样点数
t = linspace(0, 2*pi, N); % 时间序列,从0到2*pi等间隔分为N份
a = 1; % 振幅
f = 2; % 激励频率
b = 0.2; % 阻尼系数
m = 0.1; % 质量
k = 0.5; % 弹性系数

%% 自激振荡驱动
alpha = 0.1; % 自激振荡参数
xo = 0; % 初始位移
vo = 0; % 初始速度
x = zeros(1, N); % 位移序列
v = zeros(1, N); % 速度序列
x(1) = xo;
v(1) = vo;
for n = 2:N
    x(n) = x(n-1) + v(n-1)*(t(n)-t(n-1));
    v(n) = v(n-1) + (-b/m*v(n-1)-k/m*x(n-1)-alpha*x(n-1)^3+a*sin(f*t(n)))*(t(n)-t(n-1))/m;
end

%% 绘图
figure;
subplot(2,1,1);
plot(t, x);
xlabel('时间');
ylabel('位移');
title('非谐振驱动MEMS振镜');

subplot(2,1,2);
plot(t, v);
xlabel('时间');
ylabel('速度');
title('非谐振驱动MEMS振镜');