用matlab进行衍射光学元件的结构设计

光刻机离轴照明衍射光学元件的结构设输入光束为高斯光束,算法用gs算法
具体指标包括:入射光束为直径1.5mm平面波,光强为高斯分布,波长193nm; DOE通光口径为1.5mm,目标平面与DOE所在平面的距离为175mm,目标平面光场分布形式为偶极照明,外半径10.5mm,内半径7 .5mm,极角45°,照明区域内要求光强均匀分布,光能利用率≥80%,光强不均匀性≤20%
最后得出来的图像包括下面这几个,输出光的平面图,3D图,输入光高斯光束的3D图,还有最后得到的相位结构的图
麻烦写代码的时候最好注释一下每句在干什么谢谢

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matlab衍射,使用Matlab设计制造衍射光学元件DOEs

可以借鉴下
https://blog.csdn.net/weixin_42364609/article/details/115847817