Sentaurus TCAD的Deposit能否仿真凹坑衬底CVD吗？

计划使用Sentaurus TCAD仿凹坑衬底上CVD成膜形貌，发现type仅有isotropic和anisotropic。请问，能否添加Source角度和Dual direction进行真实形貌仿真吗？

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是的，可以。Sentaurus TCAD提供了一个编程接口，可以让你自定义类型，包括Source角度和Dual direction，来进行真实形貌仿真。另外，Sentaurus文档中也有相关的教程，可以帮助你更好的理解如何使用该接口，以及如何创建自定义类型。