EpiTT系统晶圆温度监测的基础原理是什么呢

Laytec的EpiTT系统测温的原理是什么样的？

看了Laytec网页里对自己EpiTT系统的描述，似乎是通过激光激发，然后分析光谱实现的测温，请问这个的基础原理是什么呢？

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