ASM3200外延炉石英钟罩长coating

有做半导体硅外延的行业吗，ASM3200外延炉在进行ETCH-COAT工艺时，石英钟罩表面内部出现coating，有解释一下可能是什么原因造成的吗

气相沉积吧不知道对不对